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时间:2018-12-04 15:59 来源:未知 作者:admin

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  填补国内空白,国机沈阳仪表院成功研制12英寸高细密微水束耦合激光划片机

  填补国内空白,国机沈阳仪表院成功研制12英寸高细密微水束耦合激光划片机

  2018-12-04 发布者:王小杰来自工程机械在线

  近日,国机集团所属沈阳仪表科学研究院无限公司(以下简称沈阳仪表院)承担的辽宁省科技立异严重专项高细密激光划片机工艺手艺及配备研...

  近日,国机集团所属沈阳仪表科学研究院无限公司(以下简称“沈阳仪表院”)承担的辽宁省科技立异严重专项“高细密激光划片机工艺手艺及配备研究”成功通过验收,成功研制出国内先辈的12英寸高细密微水束耦合激光划片机,填补了国内空白,在破解限制国产高端激光IC划切配备及环节工艺瓶颈的道路上迈出坚实一步。

  是晶圆加工的主要设备,次要用于硅片、陶瓷、玻璃、蓝宝石等脆硬材料的划槽和切割加工,已普遍使用在IC、半导体传感器、LED、太阳能光伏基片、医用“B超”换能头、鼎盛彩票网手机版光学元器件等财产。我国保守划片机采用砂轮切割,新世纪彩票线路检测网具有崩边等问题,此刻采用的激光手艺又具有熔渣等问题。沈阳仪表院的该产物采用水导激光,很好地处理了这些问题,未来会使用在大规模集成电路出产上。大唐娱乐彩票

  沈阳仪表院与东北大学、沈阳工业大学、中科院半导体研究所等高校和科研机构开展产学研结合攻关,项目组历时四年,冲破了一系列的手艺瓶颈,在水束光纤耦合、高细密活动节制等一系列环节手艺和工艺方面取得严重冲破,对误差拟合和及时弥补、视觉瞄准、激光与微水束瞄准、设备靠得住性阐发、微水束激光加工等手艺和工艺进行了研究和使用,开辟了公用节制系统软件,成功研制出国内先辈的12英寸高细密微水束耦合激光划片机。

  该产物目前正在中国科学院半导体研究所示范使用,总体运转不变。项目相关手艺还间接推进了沈阳仪表院红外激光划片机和ZSH系列砂轮划片机产物的升级换代,手艺衍出产品6寸激光划片机于本年也正式进入市场服役。项目组下一步将对标国外设备,继续优化样机机能,同时,打算组建细密划切工程手艺尝试室,依托专业化手艺平台开展激光划片多种工艺研究,为沈阳仪表院高端配备制造财产的可持续成长供给无力支持。

  (本文来自国机集团)

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